產(chǎn)品名稱(chēng)： OC/OG負型光阻劑 產(chǎn)品型號： KR-2S701 規格尺寸： Spin-coater &Slit-coater 出廠(chǎng)年份： 2012.06.01 產(chǎn)品用途： TP制程ITO絕緣保護光阻 耐蝕刻性 5%NaOH Dip 25℃ 30min OK IPA Dip 25℃ 30min OK NMP Dip 25℃ 30min OK GBL Dip 25℃ 30min OK TMAH Dip 25℃ 30min OK 結論   惠樂(lè ) 其它社 粘度(mpas) 6.54 6.44 感度(mj) 50 50 透過(guò)率 >97% >98% 耐熱透過(guò)率 >95.5% >96% 顯影密著(zhù)性 OK OK 后烘密著(zhù)性 OK OK 耐化性 OK OK 工藝條件 前烘 90℃ 曝光 50mj 顯影 DEV-KOH1001 /50s 后烘 235℃/30min