用于光化學(xué)清洗 ,殺菌, 產(chǎn)生臭氧 降解有機物 總有機碳去除(TOC)  制造超純水等  有185nm和254nm兩個(gè)主要波段. 主要有日本的 ORC SEN  EYE 德國Heraeus 美國Aquafine  Trojan 荷蘭Philips  等品牌. 常用如SUV90-43 SUV90-59可用于涂料的硬化、Hard coat(硬化膜)樹(shù)脂的硬化、SiO2燒成前的改質(zhì)。低壓水銀燈管：長(cháng)達6000小時(shí)壽命的低壓燈管可穩定放出波長(cháng)為254nm與185nm的紫外線(xiàn)。以波長(cháng)效果所產(chǎn)生的活性氧與波長(cháng)能量來(lái)進(jìn)行有機物的除去及改質(zhì)等UV洗凈作業(yè)。可用于洗凈液晶玻璃基板的有機物(改善親濕性)，或是用來(lái)進(jìn)行film等的改質(zhì)