技術(shù)參數(shù) 外 形 尺 寸：2400×2100×2000mm 工件尺寸：450X550mm(可根據(jù)客戶要求) 工件厚度：0.3 — 1.1mm 對位精度：±0.0025mm   曝光線寬線距：0.01-0.015mm 平臺平面度： ± 0.015mm 傳輸面高度：900mm ±25mm 生產(chǎn)節(jié)拍：25S/pcs 控制系統(tǒng)：PLC+觸摸屏 電  源 ：三相380VAC  40KW 壓 縮 氣 源：5 Kg/cm2      50L/Min 冷卻水：2 Kg/cm2 20L/Min   溫度≤15度 重  量 ：約1000Kg  功能與特點 ◆主要用于玻璃、硅片表面涂布后進(jìn)行的曝光的專用設(shè)備； ◆該機由入料傳輸+光源系統(tǒng)+機械手搬運+自動對位系統(tǒng)+自帶冷風(fēng)系統(tǒng)組成； ◆對位系統(tǒng)采用日本法視特視覺系統(tǒng)+UVW平臺；具有對位精度高、穩(wěn)定性好等特點； ◆光源系統(tǒng)采用日本進(jìn)口平行光源；曝光精度高、光照均勻性好； ◆檢測玻璃厚度和間隙采用日本進(jìn)口的位移傳感器，具有精度高、穩(wěn)定性好、響應(yīng)速度快、壽命長等特點； ◆整機內(nèi)部全部采用黑色烤漆處理；防止曝光時反光引起曝光不均勻。