low-e玻璃是在優(yōu)質(zhì)的浮法玻璃基片表面上用磁控濺射的方法，鍍制多層特殊的金屬、化合物薄膜及介質(zhì)膜，對(duì)遠(yuǎn)紅外光具有雙向作用，既可以阻止太陽(yáng)光產(chǎn)生的熱輻射進(jìn)入室內(nèi)，又可以將室內(nèi)物體產(chǎn)生的熱反射回來(lái)，從而降低玻璃的熱輻射通過(guò)量，具有其它節(jié)能玻璃所不具備的優(yōu)勢(shì)。 該生產(chǎn)線主要由清洗系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、鍍膜系統(tǒng)、檢測(cè)系統(tǒng)及控制系統(tǒng)組成。 主要性能特點(diǎn)： 1、采用旋轉(zhuǎn)孿生靶中頻反應(yīng)濺射技術(shù)，大大提高了介質(zhì)膜的沉積速率及膜層的均勻度，且靶材利用率大大提高；  2、采用先進(jìn)的PEM閉環(huán)控制系統(tǒng)，確保反應(yīng)濺射在金屬濺射的過(guò)渡區(qū)，大大提高了反應(yīng)濺射的效率及膜層成分的準(zhǔn)確性； 3、真空室內(nèi)部高、低真空區(qū)采用多級(jí)真空鎖進(jìn)行隔離，每個(gè)濺射區(qū)根據(jù)靶材不同采用有效的氣體隔離，保證每個(gè)濺射區(qū)氣壓的穩(wěn)定性，工藝氣體純度及穩(wěn)定性。 4、過(guò)程控制采用美國(guó)AB公司系列PLC及控制設(shè)備，系統(tǒng)通訊通過(guò)ControlNet網(wǎng)絡(luò)實(shí)現(xiàn)各設(shè)備間的信息交換，使整個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠，從而可在手動(dòng)/自動(dòng)控制間從容切換； 5、采用光學(xué)在線檢測(cè)系統(tǒng)，快速采集濺射過(guò)程基片的透射、反射光光譜等各種數(shù)據(jù)和曲線，并和設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)相比較，對(duì)濺射過(guò)程進(jìn)行有效控制；