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供應晶圓玻璃 高平面度

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細

玻璃晶圓: 本公司擁有資深級的技術(shù)人員,能為客戶(hù)提供厚度≧0.1mm,外形尺寸≧Φ2"的高精密度玻璃晶圓(Glass wafer),應用于CMOS、CCD傳感器、集成電路或微機械元件封裝(MEMS)、通信與數據處理、光學(xué)、電子產(chǎn)品、家電產(chǎn)品、、科研等高科技產(chǎn)品。玻璃晶圓加技術(shù)參數: a)材料:康寧E-XG、PYREX7740、石英玻璃、BOROFLOAT、B270、D263T、AF32、BK-7b)標準厚度:0.1mm、0.145mm、0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm、0.7mm、1.0mm、1.1mm、1.5mm(厚度公差±0.02mm)c)標準尺寸:Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ5"、Φ6"、Φ8"、Φ12"(其他尺寸可定制) d)外觀(guān):60/40;40/20;20/10 e)表面粗糙度(Ra)<1.5nm f)平行度<0.01mm 康寧E-XG玻璃晶圓基本性能: 技術(shù)參數: Density/密度(g/cc) 2.3 Thermal Expansion/膨脹系數 3.0 Transmittance/透光率 >90%  softening point/軟化點(diǎn) 971℃ TTV/平整度 <0.005 Bow/翹曲度 <0.01  Warp/彎曲度 <0.01  Vickers Modulus/維氏硬度 640     產(chǎn)品特點(diǎn):     ●特種玻璃材料應用     ●拋光領(lǐng)域的經(jīng)驗,獨具一格的表面質(zhì)量     ●能夠用于封裝隨時(shí)可用基片的潔凈室     ●具有出色公差的結構晶片     ●符合所有要求和工業(yè)標準(例如SEMI)的客戶(hù)產(chǎn)品     ●符合ISO 9001:2000所有要求的一體化生產(chǎn)步驟 典型應用:     ●微光學(xué)     ● MEMS(壓力傳感器、加速計...)     ● 晶片級封裝(圖像傳感器封裝…)     ●生物工程(微觀(guān)流體、DNA分析…)     ●以及許多其它客戶(hù)應用 g)各棱邊倒鈍C0.05~0.2mm h)裂口<0.2mm,不可內裂 i)表面清潔,不得有印記和污點(diǎn), 1000級超凈室100級超凈袋或單片盒包裝。

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