SUBA 800/600 等系列拋光墊。（***原廠產(chǎn)品） 主要尺寸：32吋（820mm），36吋（930mm），48吋（1200mm）等系列。 可根據(jù)客戶要求開槽加工。 SUBA 系列拋光墊片用于半導(dǎo)體晶片的粗拋和中拋，具有高平坦度、高拋光速率和更低晶片缺陷等優(yōu)點。可用于對硅片、藍寶石襯底片、砷化鎵、光學(xué)玻璃、陶瓷等材料的拋光。 主要參數(shù)： 型號 SUBA 600 SUBA 800 厚度(mm) 1.27 1.27 密度(g/cm2) -- -- 硬度(Asker) 80 82 硬度(JIS,A) -- -- 壓縮比(%) 3.5 3 伸縮性(%) 75 73